GWST-1000型高溫四探針綜合測試系統（包含薄膜，塊體功能）是為了更方便的研究在高溫條件下的半導體的導電性能，該系統可以完全實現在高溫、真空及惰性氣氛條件下測量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率和外延層、擴散層和離子層的方塊電阻及測量其他方塊電阻。